晶圆外延工艺流程

2024年3月7日 - 外延工艺是指在单晶衬底上生长单晶材料层,新生长的单晶层的晶向通常与衬底的晶向相同,生长有外延层的衬底片叫做外延片.#智能制造 #芯片制造 光电芯片...

2018年8月27日 - 晶圆制备: 衬底与外延工艺.晶圆制备包括衬底制备和外延工艺两大环节...www.sohu.com

当然外延也有缺点,比如工艺复杂价格昂贵(翻倍),安全问题(SiH4和H2都是易燃易爆的),扩散和自掺杂效应,图形冲坏(shift)。.外延这个词来源于希腊语【 Epi 上面】以及【 taxis ...