ald原子层沉积

2021年11月24日 - 原子层沉积(ALD)是一种适合于研制最新的和前沿性的产品的薄膜制备技术,可以将物质以单原子膜形式一层一层镀在基底表面。在镀膜过程中,两种或更多的化...

2012年9月25日 - 但在原子层沉积过程中,新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的,这种方式使每次反应只沉积一层原子。.原子层沉积(Atomic layer deposition)是...