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mems压力传感器芯片
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image.so.com/i?src=360pic_text&q=mems%E5%8E%8B%E5%...(微机电系统)是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上发展起来的高新技术,用MEMS技术研制的压力传感器具有体积小、重量轻、响应快、灵敏度高、易于批量生产、...
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